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氬氣純化的兩種方法及ADEV G9600微量氧分析儀應(yīng)用|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

氬氣純化的兩種方法及ADEV G9600微量氧分析儀應(yīng)用

在氣體工業(yè)中，純度是衡量氣體質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)。氬氣，作為一種惰性氣體，廣泛應(yīng)用于單晶與多晶體的制造過程中，作為保護(hù)氣體使用。為了提升硅晶體的品質(zhì)，選用高純度氬氣顯得尤為重要，這不僅能延長晶體的使用壽命，還能更好地滿足市場需求。

氬氣純化方法

氬氣的純化過程通常通過專門的凈化裝置實現(xiàn)，主要方法包括直接脫氧法和吸氣劑純化法。

1. 直接脫氧法氬氣純化的兩種方法及ADEV G9600微量氧分析儀應(yīng)用

直接脫氧法利用活性金屬或催化劑與氬氣中的氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而有效去除氧氣。同時，通過分子篩的吸附作用，進(jìn)一步去除氬氣中的水分，確保氬氣的含水量低于1ppm。這種方法簡單直接，能有效提升氬氣的純度。

2. 吸氣劑純化法

吸氣劑純化法則采用特定的吸氣凈化劑或干燥劑，這些物質(zhì)能與氬氣中的微量雜質(zhì)形成穩(wěn)定的化合物，從而實現(xiàn)深度凈化。經(jīng)過吸氣劑純化法處理的氬氣，其純度可達(dá)到極高的6N（即99.9999%）級別。盡管該方法在設(shè)備投資上相對較大，但由于其高提純效果，已在工業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

ADEV G9600微量氧分析儀應(yīng)用氬氣純化的兩種方法及ADEV G9600微量氧分析儀應(yīng)用

在氬氣純化過程中，ADEV G9600微量氧分析儀憑借其**的氧氣濃度檢測能力，發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。該分析儀采用先進(jìn)的電鍍傳感器技術(shù)，能夠在低至100ppb的極低濃度范圍內(nèi)實現(xiàn)高精度檢測，確保了數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。

技術(shù)亮點：

  • 高精度檢測：在極低濃度范圍內(nèi)表現(xiàn)出色，滿足高靈敏度需求。
  • 長壽命傳感器：采用免維護(hù)設(shè)計，傳感器壽命長達(dá)24個月（特定條件下）。
  • 集成化設(shè)計：不銹鋼旁路采樣系統(tǒng)延長傳感器壽命，提升操作效率。
  • 便捷操作：集成自動化范圍設(shè)置、零點校準(zhǔn)、系統(tǒng)診斷等功能，簡化操作流程。

技術(shù)參數(shù)：

  • 測量范圍：靈活可調(diào)，覆蓋從0-10ppm至0-25%的廣泛區(qū)間。
  • 精度：優(yōu)于滿量程的1%，確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
  • 應(yīng)用領(lǐng)域：專注于惰性氣體及碳?xì)錃怏w中氧含量的**分析，廣泛應(yīng)用于化工、石油、半導(dǎo)體制造等行業(yè)。
  • **等級：本質(zhì)**設(shè)計，符合易燃易爆環(huán)境下的使用要求。
  • 標(biāo)定與補(bǔ)償：使用高濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行標(biāo)定，具備溫度補(bǔ)償功能。
  • 接口與控制：配備1/8”壓緊接頭，操作簡便。氬氣純化的兩種方法及ADEV G9600微量氧分析儀應(yīng)用
  • 顯示與外觀：高清顯示屏，實時顯示多項參數(shù)，堅固耐用。
  • 性能參數(shù)：流量影響小、恢復(fù)時間短、響應(yīng)迅速，確保高效運行。
  • 采樣系統(tǒng)：集成流量控制與樣氣/旁通閥，操作直觀。
  • 電源與輸出：內(nèi)置可充電電池，支持長時間無泵運行，提供RS485輸出。
  • 質(zhì)保與服務(wù)：提供12個月質(zhì)保期，確保設(shè)備耐腐蝕性與清潔度。

綜上所述，ADEV G9600微量氧分析儀在氬氣純化過程中發(fā)揮著不可或缺的作用，為提升氬氣純度、保障產(chǎn)品質(zhì)量提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。

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